Kính hiển vi NWL200 Nikon

NWL200 Series

Dùng Ultra-thin 100Wafer

WaferSensing được cải tiến

Tính năng hỗ trợ kiểm tra  cạnh vĩ mô

Với kỹ thuật độc đáo của Nikon Ultra Thin-Wafer 100um truyền tải ổn định

Trong quy trình sản xuất bán dẫn, độ dày Wafer xu hướng mỏng dần

NWL200 bằng kỹ thuật cao lần đầu tieen100um Wafer có thể dùng trong Wafer Loader

Trang bị truyền tải độ tin tưởng cao thích hợp với việc kiểm tra hệ bán dẫn

Tính năng chính


  Thông số kỹ thuật

Kỹ thuật độc đáo có thể truyền tải wafer siêu mỏng ổn định

Khả năng đáp ứng Ultra Thin Wafer 100um

Bằng cách dùng đơn vị hấp thụ mới việc truyền tải wafer siêu mỏng 100um ổn định


Wafer-Edge chính xác

Thêm tính năng kiểm tra Wafer-Edge Chipping (chọn)

Tự động vận hành soi lỗi edge chipping mà không thể làm được trong wafer loader kính hiển vi thông thường

Thêm tính năng vào việc kiểm tra vĩ mô front/back side, mọi việc kiểm tra vĩ mô đều có thể

Edge lỗi là một trong những nguyên nhân hư hỏng wafer


Khả năng hoạt động vượt trội

Sử dụng Wafer Slot Button nâng cao tính hoạt động

Sử dụng wafer slot button có thể chọn wafer lưu trữ trong carrier bằng 1nút bấm

Với  việc kiểm tra tự động hóa tính năng quản lý file Sample, Carrier một cách hiệu quả

Dễ dàng kiểm tra được nội dung lỗi, trạng thái hoạt động và việc cài đặt trên màn hình LCD

 

Thiết kế phù hợp với người sử dụng 

Tư thế tự nhiên

Hệ điều hành thiết kế phía trước nên dễ dàng vận hành trong khi quan sát

Carrier đặt ở vị trí góc 35° hướng dịch chuyển nên dễ dàng xác minh được vị trí wafer trong Carrier

 

Hiệu quả công việc cao 

Vận hành lên xuống tốc độ cao

Alignment chính xác do Centering không tiếp xúc

Thao tác loading/unloading hiệu quả với phương thức Multi-Arm

Ngăn chặn ô nhiễm cần cho việc thích ứng Wafer tích hợp

Để ngăn chặn phát sinh bụi do va đập hoặc ma sát khi Wafer centering sử dụng  centering không tiếp xúc dựa trên sense

Đảm bảo luồng khí sạch đáp ứng Down Flow


Trang bị các loại nguồn sáng và kiểm tra macro tính năng cao

Gắn thiết bị tiêu chuẩn kiểm tra các loại macro

Gắn trên thông số kỹ thuật căn bản, module kiểm tra macro quanh mặt sau/ trung gian bề mặt/ bề mặt

Khả năng tự động cài đặt độ nghiêng, tôc độ xoay và khả năng vận hành thụ động bằng cần điều khiển khi kiểm tra macro

Trên bề mặt wafer cho trang bị nguồn sáng WIL-LED có thể cân bằng độ sáng


Remote Access Tool

Trả lời

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *